D-GURU(Defect Guru)는 광학식 검사 장비에서 산출되는 각종 검사 결과 파일을 자동으로 수집하고 분석에 용이한 형태로 가공하여 데이터베이스에 저장하는 프로그램과 데이터베이스에 저장된 자료를 조회하여 검사한 롯트 정보나 검출된 결함 정보를 확인할 수 있는 프로그램으로 구성되어 있습니다.
특징
모델 / 로트 / 기간으로 로트 검색
결함 위치 / 결함 영상을 한번에 확인 가능
로트별 / 기판별 결함 확인 가능
결함 종류별 필터
AI / VI / VRS 결함 판정 결과 확인
결함 종류별 비율 확인
히트맵 보기로 공정 개선에 활용
결함 판정 단계별(AI / VI / VRS) 결함 비율 분석
장비별, 기간별로 가동율과 생산 실적 자동으로 집계
결함 영상 / 위치 / 종류 정보를 서버에 축적
검사 결과를 수기로 입력할 필요가 없어 작업 오류 방지
