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TRINITY (Glass Photomask AOI)

글라스 포토마스크에 형성된 패턴 상에 존재하는 결함을 광학 장치 및 전용 영상 처리 소프트웨어를 이용하여 자동으로 검사하는 장치

제품문의

TR-1100L

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • Pellicle 부착 마스크 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • Optimized 정렬 알고리즘으로 False Alarm 최소화
  • Pseudo Color Image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Multiple Inspection 기능을 탑재 검출력 강화
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • 고급 병렬 이미지 처리기술로 미세 패턴 검사
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
  • CAM Data 없이 이물 검사 가능
  • 고속 카메라 및 고성능 소프트웨어 탑재로 인한 빠른 검사속도
  • DTD(Die-to-Die) 기능 탑재
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
228 x 228 mm
최소 선폭
0.8 / 0.8 µm
분해능
0.195 / 0.31 µm
중량
약 3500 kg
크기
1860 (W) x 1600 (D) x 2000 (H) mm

TR-1000L

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • Pellicle 부착 마스크 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • Optimized 정렬 알고리즘으로 False Alarm 최소화
  • Pseudo Color Image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Multiple Inspection 기능을 탑재 검출력 강화
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • 고급 병렬 이미지 처리기술로 미세 패턴 검사
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
  • Enhanced 알고리즘을 적용하여 이물 검출력 강화
  • SMI 알고리즘 탑재로 Open, Short 검출력 강화
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
840 x 1190 mm
최소 선폭
1.8 / 1.8 µm
분해능
0.28 / 0.44 µm
중량
약 6500 kg
크기
2200 (W) x 2600 (D) x 1700 (H) mm

TR-2000V

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • Pellicle 부착 마스크 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • Optimized 정렬 알고리즘으로 False Alarm 최소화
  • Pseudo Color Image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Multiple Inspection 기능을 탑재 검출력 강화
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • 고급 병렬 이미지 처리기술로 미세 패턴 검사
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
  • 대형 사이즈 글라스 검사 가능
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
1580 x 1580 mm
최소 선폭
2.4 / 2.4 µm
분해능
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
중량
약 20000 kg
크기
4800 (W) x 3000 (D) x 3450 (H) mm

TR-2000A

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • Pellicle 부착 마스크 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • Optimized 정렬 알고리즘으로 False Alarm 최소화
  • Pseudo Color Image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Multiple Inspection 기능을 탑재 검출력 강화
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • 고급 병렬 이미지 처리기술로 미세 패턴 검사
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
700 x 800 mm
최소 선폭
1.8 / 1.8 µm
분해능
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
중량
약 4500 kg
크기
2300 (W) x 2050 (D) x 1600 (H) mm

TR-1000A

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • Pellicle 부착 마스크 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • Optimized 정렬 알고리즘으로 False Alarm 최소화
  • Pseudo Color Image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Multiple Inspection 기능을 탑재 검출력 강화
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • 고급 병렬 이미지 처리기술로 미세 패턴 검사
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
610 x 610 mm
최소 선폭
1.8 / 1.8 µm
분해능
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
중량
약 3800 kg
크기
2080 (W) x 2280 (D) x 2070 (H) mm
제품문의

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