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ZETTA (Film Photomask AOI)

PCB/FPD/LED등 노광 공정 및 반도체 제조 공정에 사용되는 필름 포토마스크를 광학적인 방법으로 자동으로 검사하는 장치

제품문의

ZT-1000L-HS

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • 고속 카메라 및 고성능 소프트웨어 탑재로 인한 빠른 검사속도
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
  • Pseudo Color image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
  • Glass mask / Film mask 검사 가능
  • 실시간 자동 초점 영상 획득 시스템
  • 대형 사이즈 필름 검사 가능
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
610 x 810 mm
최소 선폭
9 / 9 µm
분해능
1.5 µm
중량
약 2500 kg
크기
1800 (W) x 2500 (D) x 1800 (H) mm

ZT-1000L

특징
  • 고객 요구사항에 맞는 검사 영역 구현 가능
  • 고속 카메라 및 고성능 소프트웨어 탑재로 인한 빠른 검사속도
  • CAM 레퍼런스 생성 속도가 빨라 다품종의 제품에 신속 대응 가능
  • Offline Defect Viewer로 결함 분석 / 관리
  • Pseudo Color image 기능 탑재로 결함 확인 시 시인성 향상
사양
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
최대 제품 크기
610 x 630 mm (Standard)
최소 선폭
32 / 32 µm
분해능
4~8 µm
중량
약 1500 kg
크기
1362 (W) x 1860 (D) x 1575 (H) mm
제품문의

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  • @lighthouzz.kit
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