현재 반도체 Lithography 공정을 맡은 사람입니다.
5inch Photo Mask를 사용중인데, Chip 수량이 20,000개 가까이 되다보니 마스크의 육안검사가 상당히 힘듭니다.
장비를 새로 들이긴 부담이 되고 해서
혹시 마스크 검사를 장비를 이용해 해주실 수 있는지 궁금합니다.
패턴 두께는 최소 4um정도 입니다.
tjsz114@naver.com 가능하시다면 메일로 답변 부탁드립니다. ^^
수고하십시오!
제품 문의
2013.03.08 14:57
포토마스크 검사에 대해 문의드립니다.
조회 수 3593 추천 수 0 댓글 1
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관리자 | 2014.07.14 | 1410 |
| » | 포토마스크 검사에 대해 문의드립니다. 1 | 반도체 | 2013.03.08 | 3593 |
안녕하세요...
문의주셔서 감사합니다. 문의주신 포토마스크에 대한 검사는 저희 검사기로 충분히 검사 가능하다고 판단됩니다만 현재 저희가 보유 중인 설비가 없어서 검사 대행 작업을 하기는 곤란합니다.
자세한 사항은 전화주시면 저희 고객업체와 연계해 드릴 수 있을 지 확인해 보겠습니다.
그럼...