Trinity - Photo-Mask AOI

Trinity

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개요

새로운 조명과 새로운 광학 시스템을 도입한 초미세 마스크에 대응하는 하이엔드 검사기


 당사의 검증된 알고리즘과 효율적인 조명 시스템을 채용하여 고정밀 검사를 수행합니다. 또한 기종에 따라 가변 배율 컬러 리뷰 카메라를 탑재하여 결함을 신속하게 확인하고 보수할 수 있습니다.

 

  Trinity 시리즈는 글라스 포토마스크(PCB, LED, LCD 등) 검사에 가장 적합하게 설계 되어 있으며 최대 3 um 선폭까지 검사할 수 있는 다양한 검사 해상도를 보유하고 있어 포토마스크의 패턴에 따라 검사 속도와 검출력을 자유롭게 조절할 수 있습니다. 또한 최고의 실시간 오토 포커싱 기술을 탑재하여 포토마스크의 처짐이나 변화에도 영향을 받지 않는 최고의 검출 능력을 자랑합니다.


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특징

초고분해능

  • 최고 3 um 선폭까지 검사할 수 있는 고분해능 광학계를 채용했습니다. 대물렌즈 교환에 의해 간단하게 분해능을 변경할 수 있습니다. 분해능 변경 시 최적의 Focus를 찾아주는 Focus 검색 기능도 탑재되어 있습니다.

실시간 Auto-Focusing

  • 고분해능으로 인한 짧은 DOF에 대응하고자 실시간 Auto-Focusing 기능을 탑재했습니다.따라서 포토마스크의 처짐이나 변형으로 인한 영향을 최소화합니다.

Granite 스테이지

  • 에어 아이솔레이터를 장착한 Granite 스테이지를 채용, 외부 진동을 적극적으로 차단해서 안정적인 영상 획득을 가능하도록 했습니다.

수율 관리

  • 패키지, LED 처럼 동일 유닛을 반복해서 배치한 제품의 경우 각 유닛의 양불을 판정하고 수율을 표시하는 기능을 탑재하고 있습니다.

획기적인 CAM 레퍼런스 생성 속도

  • 독보적인 신개발 엔진으로 검사에 필요한 CAM 레퍼런스 데이터 생성 를 몇배 더 빠르게 생성 가능합니다.

편의 기능 탑재

  • 결함 확인용 칼라 카메라 탑재
    • 칼라 카메라와 최대 240x 까지 확대 가능한 전동 줌 렌즈를 탑재해서 검출된 결함을 보다 쉽고 정확하게 확인 가능합니다.
  • 간이 선폭 측정 기능
    • 간단한 측정 기능을 탑재해서 선폭이나 원의 지름 등을 측정할 수 있습니다.
  • 리페어 설비용 리포트 출력 기능
    • 검출된 결함을 보수하기 위해 별도의 리페어 설비를 구비한 경우 해당 설비에서 즉각 이용 가능한 형식으로 결함 검출 데이터를 내보낼 수 있습니다.

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    사양

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    수상

    • 2009.12 15차 지식경제부 차세대 일류 상품 선정
    • HS CODS : 9031-49-1000

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