FGI Series (Blue / IR Filter Inspection System)

FGI-2000

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개요

 (주)트라이비스의 검증된 알고리즘과 효율적인 광학 시스템을 채용하여 고정밀 검사를 수행합니다. 

 

 FGI 시리즈는 Blue/IR 필터 검사에 가장 적합하게 설계 되어 있으며 고선명 광학계와 듀얼 헤드를 채용하여 고속 검사, 유출율/과검율 최소화를 달성하였으며 간단하고 쉽게 조작할 수 있습니다.  

 

 FGI 시리즈는 직관적인 사용자 인터페이스를 가지고 있으며 레시피 관리 시스템 채용으로 단 수 시간의 사용자 교육만으로도 최적의 검사 결과를 얻어낼 수 있습니다

 

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특징

  • 검출력 향상

    • 필터에 최적화된 알고리즘을 새롭게 개발하여 높은 검출 성능을 발휘합니다.
    • 새롭게 개발된 고선명 광학계를 탑재하여 보다 미세한 결함을 검출합니다.
    • 강력한 False Alarm 필터를 탑재해서 오보율을 대폭 낮추었습니다.

 

  • 속도 향상
    • 듀얼 헤드 시스템을 채용하고 영상 처리 엔진을 고속화함으로서 검사 속도를 향상 시켰습니다. 보다 더 신속하게 필터를 검사 할 수 있습니다.

 

  • 생산성
    • 카세트 타입의 링프레임 투입/배출 시스템으로 작업자의 개입 없이 장시간 운전 가능하며 높은 생산성을 구현했습니다.

 

  • 편의 기능 탑재

 

    • 다양한 통계 정보(생산량, 불량 유형별 발생율 등)을 제공합니다.
    • 결함 뷰어 제공으로 롯트별 불량 유형과 결함 검출력을 간단하게 점검할 수 있습니다.

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사양

  • 검사 가능한 글라스 크기 : 170 x 170 mm
  • 검사 가능한 최대 필터 크기 : 11 x 11 mm
  • 생산성 : 40 면/시간 (약 11500 필터, 링프레임 투입/배출 시간 제외)
  • 검출능력 : 3 um 이상
  • 검출 결함 : 이물, 칩핑, 흑점, 디그, 스크래치, 오염, 마스크 인쇄 이상 등
  • 장비 크기 : 1700 (W) x 1700 (D) x 2050 mm (H)
  • 장비 무게 : 1.5t