Zetta - Photo-Mask / Screen-Mask AOI

Zetta

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개요

 (주)트라이비스의 검증된 알고리즘과 효율적인 조명 시스템을 채용하여 고정밀 검사를 수행합니다.


 Zetta 시리즈는 필름 포토마스크 검사에 가장 적합하게 설계 되어 있으며 최대 32 um 선폭까지 검사할 수 있는 다양한 검사 해상도를 보유하고 있어 포토마스크의 패턴에 따라 검사 속도와 검출력을 자유롭게 조절할 수 있습니다.


 Zetta 시리즈는 직관적인 사용자 인터페이스를 가지고 있으며 단 수 시간의 사용자 교육만으로도 최적의 검사 결과를 얻어낼 수 있습니다


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특징

  • 검출력 향상

    • 최대 4um 의 분해능을 이용할 수 있어 보다 미세한 결함을 검출할 수 있습니다.
    • 새롭게 개발된 알고리즘을 탑재, 미세한 결함을 보다 효과적으로 검출 가능합니다. 또한 강력한 False Alarm 필터를 탑재해서 오보율을 대폭 낮추었습니다.

  • 속도 향상

    • 고속 카메라를 탑재하고 영상 처리 엔진을 고속화함으로서 검사 속도를 향상 시켰습니다. 보다 더 신속하게 새로운 포토마스크를 검사 할 수 있습니다.

  • 획기적인 CAM 레퍼런스 생성 속도

    • 독보적인 신개발 엔진으로 검사에 필요한 CAM 레퍼런스 데이터를 몇배 더 빠르게 생성 가능합니다.

  • 편의 기능 탑재

    • 간이 선폭 측정 기능

      • 간단한 측정 기능을 탑재해서 선폭이나 원의 지름 등을 측정할 수 있습니다.

    • 리페어 설비용 리포트 출력 기능

      • 검출된 결함을 보수하기 위해 별도의 리페어 설비를 구비한 경우 해당 설비에서 즉각 이용 가능한 형식으로 결함 검출 데이터를 내보낼 수 있습니다.


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사양

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