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ZETTA (Film Photomask AOI)

用於PCB/FPD/LED等曝光製程及半導體製造製程的薄膜光罩，透過光學方法自動檢測的裝置

ZT-1000L-HS

特點

可根據客戶需求設定檢測範圍
搭載高速攝影機與高性能軟體，檢測速度快
快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
搭載Pseudo Color image功能，提升缺陷識別時的可視性
可檢測Glass mask / Film mask
即時自動對焦影像獲取系統
可檢測大尺寸膠片

規格

CAM Interface

ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH

最大產品尺寸

610 x 810 mm

最小線寬

9 / 9 µm

解析度

1.5 µm

重量

約2500 kg

尺寸

1800 (W) x 2500 (D) x 1800 (H) mm

ZT-1000L

特點

可根據客戶需求設定檢測範圍
搭載高速攝影機與高性能軟體，檢測速度快
快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
搭載Pseudo Color image功能，提升缺陷識別時的可視性

規格

CAM Interface

ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH

最大產品尺寸

610 x 630 mm (Standard)

最小線寬

32 / 32 µm

解析度

4~8 µm

重量

約1500 kg

尺寸

1362 (W) x 1860 (D) x 1575 (H) mm