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TRINITY (Glass Photomask AOI)

利用光學裝置及專用影像處理軟體，自動檢測形成於玻璃光罩上圖案中的缺陷的裝置

TR-1100L

特點
  • 可根據客戶需求設定檢測範圍
  • 可檢測貼附Pellicle的光罩
  • 即時自動對焦影像獲取系統
  • 採用Optimized對位演算法，最大限度減少False Alarm
  • 搭載Pseudo Color Image功能，提升缺陷識別時的可視性
  • 搭載Multiple Inspection功能，增強缺陷檢出能力
  • 快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
  • 具備高階平行影像處理技術，可進行精細圖案檢測
  • 透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
  • 無需CAM Data亦可檢測異物
  • 搭載高速攝影機與高性能軟體，檢測速度快
  • 搭載DTD(Die-to-Die)功能
規格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大產品尺寸
228 x 228 mm
最小線寬
0.8 / 0.8 µm
解析度
0.195 / 0.31 µm
重量
約3500 kg
尺寸
1860 (W) x 1600 (D) x 2000 (H) mm

TR-1000L

特點
  • 可根據客戶需求設定檢測範圍
  • 可檢測貼附Pellicle的光罩
  • 即時自動對焦影像獲取系統
  • 採用Optimized對位演算法，最大限度減少False Alarm
  • 搭載Pseudo Color Image功能，提升缺陷識別時的可視性
  • 搭載Multiple Inspection功能，增強缺陷檢出能力
  • 快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
  • 具備高階平行影像處理技術，可進行精細圖案檢測
  • 透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
  • 適用Enhanced演算法，強化異物檢出能力
  • 搭載SMI演算法，提升Open、Short缺陷的檢出能力
規格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大產品尺寸
840 x 1190 mm
最小線寬
1.8 / 1.8 µm
解析度
0.28 / 0.44 µm
重量
約6500 kg
尺寸
2200 (W) x 2600 (D) x 1700 (H) mm

TR-2000V

特點
  • 可根據客戶需求設定檢測範圍
  • 可檢測貼附Pellicle的光罩
  • 即時自動對焦影像獲取系統
  • 採用Optimized對位演算法，最大限度減少False Alarm
  • 搭載Pseudo Color Image功能，提升缺陷識別時的可視性
  • 搭載Multiple Inspection功能，增強缺陷檢出能力
  • 快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
  • 具備高階平行影像處理技術，可進行精細圖案檢測
  • 透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
  • 可檢測大尺寸玻璃
規格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大產品尺寸
1580 x 1580 mm
最小線寬
2.4 / 2.4 µm
解析度
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約20000 kg
尺寸
4800 (W) x 3000 (D) x 3450 (H) mm

TR-2000A

特點
  • 可根據客戶需求設定檢測範圍
  • 可檢測貼附Pellicle的光罩
  • 即時自動對焦影像獲取系統
  • 採用Optimized對位演算法，最大限度減少False Alarm
  • 搭載Pseudo Color Image功能，提升缺陷識別時的可視性
  • 搭載Multiple Inspection功能，增強缺陷檢出能力
  • 快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
  • 具備高階平行影像處理技術，可進行精細圖案檢測
  • 透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
規格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大產品尺寸
700 x 800 mm
最小線寬
1.8 / 1.8 µm
解析度
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約4500 kg
尺寸
2300 (W) x 2050 (D) x 1600 (H) mm

TR-1000A

特點
  • 可根據客戶需求設定檢測範圍
  • 可檢測貼附Pellicle的光罩
  • 即時自動對焦影像獲取系統
  • 採用Optimized對位演算法，最大限度減少False Alarm
  • 搭載Pseudo Color Image功能，提升缺陷識別時的可視性
  • 搭載Multiple Inspection功能，增強缺陷檢出能力
  • 快速生成CAM參考，可迅速應對多種產品
  • 具備高階平行影像處理技術，可進行精細圖案檢測
  • 透過Offline Defect Viewer進行缺陷分析/管理
規格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大產品尺寸
610 x 610 mm
最小線寬
1.8 / 1.8 µm
解析度
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約3800 kg
尺寸
2080 (W) x 2280 (D) x 2070 (H) mm
產品諮詢

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