咨询

搜索

SC

集团

ZETTA (Film Photomask AOI)

用于PCB/FPD/LED等曝光工艺及半导体制造工艺的胶片光罩，通过光学方法自动检测的设备

ZT-1000L-HS

特点

根据客户需求实现检测区域
搭载高速摄像头及高性能软件，实现快速检测速度
CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
可检测玻璃掩模/薄膜掩模
实时自动对焦影像获取系统
可检测大型尺寸薄膜

规格

CAM Interface

ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH

最大产品尺寸

610 x 810 mm

最小线宽

9 / 9 µm

分辨率

1.5 µm

重量

约 2500 kg

尺寸

1800 (W) x 2500 (D) x 1800 (H) mm

ZT-1000L

特点

根据客户需求实现检测区域
搭载高速摄像头及高性能软件，实现快速检测速度
CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性

规格

CAM Interface

ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH

最大产品尺寸

610 x 630 mm (Standard)

最小线宽

32 / 32 µm

分辨率

4~8 µm

重量

约 1500 kg

尺寸

1362 (W) x 1860 (D) x 1575 (H) mm