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TRINITY (Glass Photomask AOI)

利用光学装置及专用图像处理软件自动检测形成于玻璃光掩膜图案上的缺陷的装置

TR-1100L

特点
  • 根据客户需求实现检测区域
  • 可检测带保护膜的掩模
  • 实时自动对焦影像获取系统
  • 通过优化对齐算法最小化误报
  • 搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
  • 搭载多重检测功能，增强检测能力
  • CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
  • 采用高级并行图像处理技术进行微细图案检测
  • 通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
  • 无需CAM数据即可进行异物检测
  • 搭载高速摄像头及高性能软件，实现快速检测速度
  • 搭载DTD(Die-to-Die)功能
规格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大产品尺寸
228 x 228 mm
최소 선폭
0.8 / 0.8 µm
分辨率
0.195 / 0.31 µm
重量
约 3500 kg
尺寸
1860 (W) x 1600 (D) x 2000 (H) mm

TR-1000L

特点
  • 根据客户需求实现检测区域
  • 可检测带保护膜的掩模
  • 实时自动对焦影像获取系统
  • 通过优化对齐算法最小化误报
  • 搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
  • 搭载多重检测功能，增强检测能力
  • CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
  • 采用高级并行图像处理技术进行微细图案检测
  • 通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
  • 应用增强算法提升异物检测能力
  • 搭载SMI算法增强开路/短路检测能力
规格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大产品尺寸
840 x 1190 mm
最小线宽
1.8 / 1.8 µm
分辨率
0.28 / 0.44 µm
重量
约 6500 kg
尺寸
2200 (W) x 2600 (D) x 1700 (H) mm

TR-2000V

特点
  • 根据客户需求实现检测区域
  • 可检测带保护膜的掩模
  • 实时自动对焦影像获取系统
  • 通过优化对齐算法最小化误报
  • 搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
  • 搭载多重检测功能，增强检测能力
  • CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
  • 采用高级并行图像处理技术进行微细图案检测
  • 通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
  • 可检测大型尺寸玻璃
规格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大产品尺寸
1580 x 1580 mm
最小线宽
2.4 / 2.4 µm
分辨率
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
约 20000 kg
尺寸
4800 (W) x 3000 (D) x 3450 (H) mm

TR-2000A

特点
  • 根据客户需求实现检测区域
  • 可检测带保护膜的掩模
  • 实时自动对焦影像获取系统
  • 通过优化对齐算法最小化误报
  • 搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
  • 搭载多重检测功能，增强检测能力
  • CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
  • 采用高级并行图像处理技术进行微细图案检测
  • 通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
规格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大产品尺寸
700 x 800 mm
最小线宽
1.8 / 1.8 µm
分辨率
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
约 4500 kg
尺寸
2300 (W) x 2050 (D) x 1600 (H) mm

TR-1000A

特点
  • 根据客户需求实现检测区域
  • 可检测带保护膜的掩模
  • 实时自动对焦影像获取系统
  • 通过优化对齐算法最小化误报
  • 搭载伪彩色图像功能，提升缺陷确认时的可视性
  • 搭载多重检测功能，增强检测能力
  • CAM参考生成速度快，可快速应对多品种产品
  • 采用高级并行图像处理技术进行微细图案检测
  • 通过离线缺陷查看器进行缺陷分析/管理
规格
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大产品尺寸
610 x 610 mm
最小线宽
1.8 / 1.8 µm
分辨率
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
约 3800 kg
尺寸
2080 (W) x 2280 (D) x 2070 (H) mm
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