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ZETTA (Film Photomask AOI)

PCB/FPD/LEDなどの露光工程および半導体製造工程で使用されるフィルムフォトマスクを光学的手法で自動検査する装置

ZT-1000L-HS

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • 高速カメラや高性能ソフトウェア搭載による検査速度の速さ
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Glass mask / Film mask検査機能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • 大型サイズのフィルム検査が可能
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
610 x 810 mm
最小Pattern Width
9 / 9 µm
分解能
1.5 µm
重量
約2500 kg
サイズ
1800 (W) x 2500 (D) x 1800 (H) mm

ZT-1000L

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • 高速カメラや高性能ソフトウェア搭載による検査速度の速さ
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
610 x 630 mm (Standard)
最小Pattern Width
32 / 32 µm
分解能
4~8 µm
重量
約1500 kg
サイズ
1362 (W) x 1860 (D) x 1575 (H) mm
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