お問い合わせ

検索

JA

Group

TRINITY (Glass Photomask AOI)

ガラスフォトマスクに形成されたパターン上に存在する欠陥を、光学装置および専用画像処理ソフトウェアを用いて自動的に検査する装置

TR-1100L

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • Pellicle付きマスク検査が可能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • OptimizedアラインのアルゴリズムでFalse Alarmを最小化
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Multiple Inspection機能を搭載し、検出力を強化
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • 高度な並列画像処理技術で微細パターンを検査
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
  • CAM Dataなしで異物の検査が可能
  • 高速カメラや高性能ソフトウェア搭載による検査速度の速さ
  • DTD(Die-to-Die)機能を搭載
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
228 x 228 mm
最小Pattern Width
0.8 / 0.8 µm
分解能
0.195 / 0.31 µm
重量
約3500 kg
サイズ
1860 (W) x 1600 (D) x 2000 (H) mm

TR-1000L

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • Pellicle付きマスク検査が可能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • OptimizedアラインのアルゴリズムでFalse Alarmを最小化
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Multiple Inspection機能を搭載し、検出力を強化
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • 高度な並列画像処理技術で微細パターンを検査
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
  • Enhancedアルゴリズムを適用して異物検出力を強化
  • SMIアルゴリズムを搭載し、Open, Short検出力を強化
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
840 x 1190 mm
最小Pattern Width
1.8 / 1.8 µm
分解能
0.28 / 0.44 µm
重量
約6500 kg
サイズ
2200 (W) x 2600 (D) x 1700 (H) mm

TR-2000V

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • Pellicle付きマスク検査が可能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • OptimizedアラインのアルゴリズムでFalse Alarmを最小化
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Multiple Inspection機能を搭載し、検出力を強化
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • 高度な並列画像処理技術で微細パターンを検査
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
  • 大型サイズのガラス検査が可能
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
1580 x 1580 mm
最小Pattern Width
2.4 / 2.4 µm
分解能
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約20000 kg
サイズ
4800 (W) x 3000 (D) x 3450 (H) mm

TR-2000A

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • Pellicle付きマスク検査が可能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • OptimizedアラインのアルゴリズムでFalse Alarmを最小化
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Multiple Inspection機能を搭載し、検出力を強化
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • 高度な並列画像処理技術で微細パターンを検査
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
700 x 800 mm
最小Pattern Width
1.8 / 1.8 µm
分解能
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約4500 kg
サイズ
2300 (W) x 2050 (D) x 1600 (H) mm

TR-1000A

特長
  • 顧客要求事項に合わせた検査エリアの具現化が可能
  • Pellicle付きマスク検査が可能
  • リアルタイムでのオートフォーカス画像取り込みシステム
  • OptimizedアラインのアルゴリズムでFalse Alarmを最小化
  • Pseudo Color image機能を搭載し、欠陥レビュー時の視認性が向上
  • Multiple Inspection機能を搭載し、検出力を強化
  • CAM Referenceの生成速度が速いため、多品種の製品への迅速な対応が可能
  • 高度な並列画像処理技術で微細パターンを検査
  • Offline Defect Viewerで欠陥を分析・管理
仕様
CAM Interface
ODB++, GDS-II, RS-274D/X (Gerber), DPF, Fire-9xxx, DNS RP/RPH
最大製品サイズ
610 x 610 mm
最小Pattern Width
1.8 / 1.8 µm
分解能
0.3 / 0.6 / 1.2 µm
重量
約3800 kg
サイズ
2080 (W) x 2280 (D) x 2070 (H) mm
製品お問い合わせ

Nullam quis risus eget urna mollis ornare vel eu leo. Aenean lacinia bibendum nulla sed 

  • @lighthouzz.kit
Facebook Twitter Youtube Instagram Linkedin