Software

D-GURU(Defect Guru)は、光学式検査装置で算出される各種検査結果のファイルを自動的に収集し、分析しやすい形に加工してデータベースに保存するプログラムと、データベースに保存されたデータを照会して検査したロット情報や検出された欠陥情報を確認できるプログラムで構成されています。